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三星引入東進(jìn)世美肯半導體光刻膠進(jìn)入其量產(chǎn)線(xiàn) 也是其進(jìn)行本土量產(chǎn)的首次嘗試

發(fā)布時(shí)間:2022-12-05 09:30:15來(lái)源:網(wǎng)易

  三星電子首次引入東進(jìn)世美肯半導體的光刻膠進(jìn)入其量產(chǎn)線(xiàn),這也是三星進(jìn)行光刻膠本土量產(chǎn)的首次嘗試。不過(guò)考慮到三星與海外光刻膠供應商的關(guān)系,目前具體產(chǎn)量尚不清楚,且三星是否會(huì )額外引進(jìn)其他品種的光刻膠也并沒(méi)有得到回應。


圖片來(lái)自網(wǎng)絡(luò )/侵刪

  報道稱(chēng),三星電子已將韓國公司開(kāi)發(fā)的用于高科技工藝的極紫外光刻膠(PR)引入其大規模生產(chǎn)線(xiàn)。2019 年 7 月,日本方面宣布限制向韓國出口包括含氟聚酰亞胺、光刻膠以及高純度氟化氫在內的三項重要半導體及 OLED 面板原材料,經(jīng)過(guò)三年的努力,韓國實(shí)現了光刻膠本地化生產(chǎn)。

  三星電子被發(fā)現在他們的一條半導體工藝(層)線(xiàn)上使用了東進(jìn)世美肯(Dongjin Semichem)的光刻膠,該光刻膠去年通過(guò)了三星電子的可靠性測試,不到一年就被應用于大規模生產(chǎn)線(xiàn)。一條工藝線(xiàn)只是三星電子整個(gè)流程中非常小的一部分,但由于這是一個(gè)此前完全依賴(lài)進(jìn)口的產(chǎn)品,其具有特殊的意義。以前,韓國 100% 依賴(lài)從日本和其它國家進(jìn)口光刻膠。

  由于三星將這一產(chǎn)品用于實(shí)際的半導體生產(chǎn),東進(jìn)世美肯成為第一家將光刻膠本地化并達到大規模生產(chǎn)水平的公司。永昌化學(xué)和 SK 材料性能也在開(kāi)發(fā)光刻膠,但它們還沒(méi)有達到可靠性驗證的水平。

  光刻膠,是指經(jīng)過(guò)紫外光、深紫外光、電子束、離子束、X 射線(xiàn)等光照或輻射后,溶解度發(fā)生變化的耐蝕刻薄膜材料,是光刻工藝中的關(guān)鍵材料,主要應用于積體電路和分立器件的細微圖形加工。

  從整體業(yè)態(tài)來(lái)看,全球光刻膠市場(chǎng)高度集中,日美把控著(zhù)絕大部分市場(chǎng)份額。日本的 JSR、東京應化、信越化學(xué)及富士膠片四家企業(yè)占據了全球 70% 以上的市場(chǎng)份額,壟斷地位穩固。
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